（結晶成長プロセス用）
アンプルシーラー

本装置は、外径φ55、80、85の石英アンプルを真空あるいは、所定のアルゴン圧力で封入する為の設備です。

＜構成＞
1.油拡散ポンプ、ロータリーポンプからなる真空排気装置
2.真空計
3.アンプル固定用真空キャップ（φ55用　1ケ　φ80、85共用　2ケ）
4.真空配管、架台